Это всего лишь заполнитель для текущего проекта по созданию недорогого (из 3D-печатных деталей и деталей из хозяйственного магазина) полностью механического эллипсометра с одной длиной волны для измерения и анализа поверхности. Дополнительные длины волны (а также углы падения или AOI) также могут быть измерены с помощью лазерных моду

Текущий список материалов

1. Печатные изделия.

1.1 (10) соединители для резьбовых стержней под углом 90 градусов.
1.2 (2) Соединители для резьбовых стержней с отверстиями для глаз.
1.3 (1) Рука AOI.
1.4 (1) Правый AOI ARM.
1.5 (1) "ThreadRod_Connect_90deg_0_25in-20-SmoothRodModFront-v2.stl"
1.6 (2) "Пластины-разделители"
1.7 (1) "Оптические крепления для фотоэлементов"
1.8 (2) "Поляризаторы с креплениями для лазера v2", (http://www.thingiverse.com/thing:98556)
1.9 (2) Вращающиеся узлы крепления поляризаторов (http://www.thingiverse.com/thing:98556).

1. Непечатные предметы.
   2.1 (1) Угольник.
   2.2 (13?) стержни с резьбой 1/4-20.
   2.3 (25) 1/4-20 Шестигранные гайки
   2.4 (10) винты с зацепом M3-0.5x16 мм
   2,5 (8) гайки M3-0,5
   2.6 (1) Лазерный модуль (http://www.scientificsonline.com/diy-red-laser-pointer.html)
   2.7 (2) Поляризационные фильтры (http://www.sciplus.com/p/POLARIZING-FILTER-IN-REMOVABLE-MOUNT_48927)
   2.8 (1) Фотоэлемент CdS (Radio Shack?)
   2.9 (1) Мультиметр, который измеряет сопротивление.
   2.10 (1) Циркулярный поляризационный фильтр (http://www.amazon.com/Tiffen-46CP-46mm-Circular-Polarizer/dp/B00004ZC8Y/ref=sr_1_31?s=electronics&ie=UTF8&qid=1371667297&sr=1-31&keywords=circular+polarizing+filter). Это должно выполнять роль компенсатора четвертьволновой пластины.

Также будут различные инструменты и ремесленные принадлежности, которые вам понадобится использовать.

1. Процедура настройки:

2. Процедура калибровки.

3. Заметки по анализу данных.

5.1 Ссылки:

5.1.1 Руководство пользователя по эллипсометрии от Харланда Г. Томпкинса (доступно на Amazon).

5.1.2 Справочник по измерениям, приборам и датчикам (Справочник по электротехнике - CRC), 2 тома, написанный Джоном Г. Уэбстером (29 декабря 1998 г.) - доступен на Amazon.

*Обновление 20 июня 2013 года **

Добавлена дополнительная оптическая крепление на левой и правой ручках угла падения, позволяющая установить круговой поляризатор с любой стороны (в зависимости от желаемой конфигурации). Это делается для обеспечения возможности настройки нулевого эллипсометра.

*Обновление 28 июня 2013 года **

2-й механический макет (пришлось поменять порядок стека и разместить образец за главной осью) и первый тест на освещение, чтобы убедиться, что лазерный модуль работает. Я решил вернуться к конфигурации поляриметра Стоукса (Поляризатор-Образец-Анализатор). Это потребует всего 4 измерения интенсивности (0, 90 и +/-

*Обновление 07/03/13**

-Переработал механическую стопку, чтобы, надеюсь, минимизировать ошибку параллакса при измерении AOI. Фотография этого макета была загружена. Мне, вероятно, следует добавить больше опор, чтобы сделать рамку более жесткой.

-Завершил первый проект процедуры калибровки поляризатора. Загрузил печатную версию этого в формате PDF.

- Завершил первый проект листа данных для сбора измерений относительной интенсивности, которые будут использоваться для получения данных Psi/Del. Начал работу над теоретическим листом для стека плёнок (начиная с голого субстрата) для преобразования известной дисперсии в теоретическую траекторию Psi/Del (в сравнении с изменениями в AOI), к которой могут

*Обновление 07/12/13 **

Я выделил немного времени из разработки оборудования, чтобы поработать над некоторыми теоретическими вопросами. В приложении представлена обновленная таблица данных, которая также содержит однослойную модель Psi/Del, которая позволит пользователю вручную регрессировать свои измеренные результаты (для минимизации различных показателей ошибок, показанных в таблице) для определения

Обновление от 13 января 2014 года.
Снова начал работать после значительного перерыва (извините, я был немного занят). Как вы можете видеть на последней фотографии, аппарат претерпел некоторые изменения, которые мне еще нужно задокументировать. Начал калибровку поляризатора "A". Мне все еще нужно выполнить калибровку поляризатора "B", прежде чем я смогу приступить к сбору

Обновление 03/04/14
Опубликовал свои первые тестовые данные, используя (не чистый) покровное стекло для микроскопа. Кривые данных оказались схожими для положения поляризатора +45 градусов (менее схожими для положения поляризатора -45 градусов). Судя по этому первому набору данных, похоже, есть значительные источники ошибок, и необходимо лучше протестировать повторя