ホームメイドのエリプソメータープロジェクトをサポートするZステージアセンブリ:
http://www.thingiverse.com/thing:103972
*更新
ノブのSCADファイルの問題を修正しました。アセンブリファイルのものではなく、「Z_Stage_Mid_Knob」ファイルを使用してください。