Özet.
Bu, yüzey ölçümü ve analizi için tamamen mekanik bir tek dalga boyu elipsometre oluşturmak amacıyla devam eden bir proje için sadece bir yer tutucudur. Diğer bilinen dalga boylarındaki lazer modüllerini kullanılarak ek dalga boyları (ve ayrıca gelen ışığın açıkları veya AOI'ler) de örneklenebil
İnstrüksiyonlar.
Mevcut BOM aşağıdaki gibidir:
- Basılı Öğeler.
1.1 (10) 90 Derece Dişli Çubuk Bağlantıları.
1.2 (2) Göz deliği dişli çubuk bağlantıları.
1.3 (1) AOI Kolu.
1.4 (1) Sağ AOI kolü.
1.5 (1) "ThreadRod_Connect_90deg_0_25in-20-SmoothRodModFront-v2.stl"
1.6 (2) "Spacer_Plates"
1.7 (1) "Optik Montajlar Foto Hücre"
1.8 (2) "Polarizer_Mounts_Laser_v2", (http://www.thingiverse.com/thing:98556)
1.9 (2) Döndürülebilir Polarizer Montaj Kitleri (http://www.thingiverse.com/thing:98556).
- Basılı Olmayan Öğeler.
2.1 (1) Pusula.
2.2 (13?) 1/4-20 Dişli Çubuklar.
2.3 (25) 1/4-20 Altıgen Somunlar.
2.4 (10) M3-0.5x16 mm Soket Başlı Vidalar.
2.5 (8) M3-0.5 Somunlar.
2.6 (1) Lazer Modülü (http://www.scientificsonline.com/diy-red-laser-pointer.html)
2.7 (2) Polarizasyon Filtreleri (http://www.sciplus.com/p/POLARIZING-FILTER-IN-REMOVABLE-MOUNT_48927)
2.8 (1) CdS Foto Hücresi (Radio Shack?)
2.9 (1) Dirençi ölçen multimetre.
2.10 (1) Dairesel Polarizasyon Filtresi (http://www.amazon.com/Tiffen-46CP-46mm-Circular-Polarizer/dp/B00004ZC8Y/ref=sr_1_31?s=electronics&ie=UTF8&qid=1371667297&sr=1-31&keywords=circular+polarizing+filter). Bu, bir çeyrek dalga plakası kompansatörünün rolünü doldurmalıdır.
Ayrıca kullanmanız gereken çeşitli araçlar ve el aletleri de olacak.
-
Kurulum Prosedürü:
-
Kalibrasyon Prosedürü.
- Veri analizi hakkında notlar.
5.1 Referanslar:
5.1.1 Harland G. Tompkins tarafından yazılan bir Kullanıcı Rehberi Ellipsometri (Amazon'da mevcuttur).
5.1.2 Ölçüm, Enstrümantasyon ve Sensörler El Kitabı (Elektrik Mühendisliği El Kitabı - CRC), John G. Webster tarafından 2 cilt halinde düzenlenmiştir (29 Aralık 1998) - Amazon'da mevcuttur.
*Güncelleme 20/06/13 **
İstenen konfigürasyona bağlı olarak her iki tarafta da dairesel polarizör monte etmeye izin verecek şekilde, sol ve sağ Gelen Işın Açısı kollarına ek bir optik montaj ekledim. Bunun amacı, bir nul elipsometre konfigürasyonuna imkan tanımaktır.
*Güncelleme 28/06/13 **
İkinci mekanik maket (yığının sırasını tersine çevirip örneği ana eksenin arkasına yerleştirmek zorunda kaldım) ve lazer modülünün çalıştığından emin olmak için ilk aydınlatma testi. Stokes polarimetre konfigürasyonuna (Polarizer-Sample-Analyzer) geri dönmeye karar verdim. Bu, Psi/Del'i
*Güncelleme 07/03/13.**
- AOI'yi ölçerken paralaks hatasını en aza indirmeyi umarak mekanik yığını yeniden düzenledim. Bu maketin bir fotoğrafı yüklendi. Muhtemelen çerçeveyi daha sağlam hale getirmek için daha fazla destek eklemeliyim.
-Polarizör kalibrasyon prosedürünün ilk taslağını tamamladım. Bunun PDF baskısını yükledim.
-Psi/Del verilerini üretecek olan göreceli yoğunluk ölçümlerini toplamak için ilk taslak veri sayfasını tamamladı. Teorik filmstack sayfası üzerinde çalışmaya başladı (çıplak substratla başlayarak) ve bilinen dağılımı teorik Psi/Del eğrisine dönüştürdü (AOI'deki değişimle karşılaştırıld
*Güncelleme 07/12/13 **
Donanım geliştirmeden biraz zaman ayırıp bazı teoriler üzerinde çalıştım. Ekte, kullanıcıya ölçülen sonuçlarını manuel olarak geriletmeye olanak tanıyan tek katmanlı bir Psi/Del modeli içeren güncellenmiş bir veri tablosu bulunuyor (sayfada gösterilen çeşitli hata ölçümlerini en aza indirmek iç
Güncelleme 01/13/14
Önemli bir ara verildikten sonra tekrar çalışmaya başladım (kusura bakmayın, biraz meşguldüm). En son resimden de görebileceğiniz gibi, cihaz bazı gelişmeler geçirdi ve bunları hala belgelemem gerekiyor. Polarizer "A" kalibrasyonuna başladım. Analiz için ilk gerçek veri toplamaya başlamadan ön
Güncelleme 03/04/14
İlk test verilerimi (temiz olmayan) bir mikroskop kapağı kullanarak yayınladım. Veri eğrileri +45 derecelik polarizatör konumu için benzer görünüyordu (–45 derecelik polarizatör konumu için daha az). Bu ilk veri setinden, kayda değer hata kaynakları olduğu görülüyor ve tekrarlanabilirliğ
Model Source
