これは、表面測定と分析のための純粋に機械的な単波長エリプソメータを安価で製作するという進行中のプロジェクトのためのプレイスホルダにすぎません。その他の波長(および入射角度やAOI)も、既知の他の波長のレーザーモジュールを使用してサンプリングできます。

現在のBOMは次の通りです。

1. 印刷物

1.1 (10) 90度のねじ付きロッドコネクタ
1.2 (2) アイホールねじ棒コネクタ
1.3 (1) AOIアーム
1.4 (1) 右AOIアーム
1.5 (1) "ThreadRod_Connect_90deg_0_25in-20-SmoothRodModFront-v2.stl"
1.6 (2) "スペーサープレート"
1.7 (1) "Optics_Mounts_Photocell"
1.8 (2) "Polarizer_Mounts_Laser_v2", (http://www.thingiverse.com/thing:98556)
1.9 (2) 回転可能な偏光子マウントアセンブリ (http://www.thingiverse.com/thing:98556)。

1. 非印刷物
   2.1 (1) プロトラクター
   2.2 (13?) 1/4-20ネジロッド
   2.3 (25) 1/4-20ヘックスナット
   2.4 (10) M3-0.5x16 mmソケットキャップスクリュー
   2.5 (8) M3-0.5 ナット
   2.6 (1) レーザーモジュール (http://www.scientificsonline.com/diy-red-laser-pointer.html)
   2.7 (2) 偏光フィルター (http://www.sciplus.com/p/POLARIZING-FILTER-IN-REMOVABLE-MOUNT_48927)
   2.8 (1) CdSフォトセル (Radio Shack?)
   2.9 (1) 抵抗を測定するマルチメータ
   2.10 (1) 円偏光フィルター (http://www.amazon.com/Tiffen-46CP-46mm-Circular-Polarizer/dp/B00004ZC8Y/ref=sr_1_31?s=electronics&ie=UTF8&qid=1371667297&sr=1-31&keywords=circular+polarizing+filter)。これは四分の波長板補償器の役割を果たすはずです。

また、使用する必要があるさまざまなツールや工芸用具もあります。

1. 設定手順：

2. 校正手順

3. データ分析に関する注意事項

5.1 参考文献：

5.1.1 ハーランド・G・トンプキンス著の「エリプソメトリーのユーザーガイド」(アマゾンで入手可能)。

5.1.2 測定、計測器、センサーハンドブック(電気工学ハンドブック-CRC)、ジョン・G・ウェブスター著、2巻セット(1998年12月29日)- アマゾンで入手可能

*2013年6月20日更新**

左右の入射角アームに、円偏光子を両側に取り付けることができるように、追加の光学マウントを設けました。これは、ヌルエリプソメータ構成を可能にするためのものです。

*2013年6月28日更新**

セカンドメカニカルモックアップ(スタックの順序を逆にし、サンプルをメインアクシスの後ろに配置する必要がありました)、そしてレーザーモジュールが正常に動作していることを確認するための最初の照明テストを実施しました。私はストークス偏光計構造(偏光子-サンプル-アナライザー)に戻ることに決めました。これでは、Psi/Delを求めるために、わずか4回の

*2013年7月3日更新**

-AOIを測定する際の視差誤差を最小限に抑えるために、機械的なスタックを改良しました。このモックアップの写真がアップロードされました。フレームをより強固にするために、もういくつかのサポートを追加する必要があるかもしれません。

-偏光子の校正手順の初稿を完成しました。これのPDF印刷版をアップロードしました。

- Psi/Delデータを生成する相対強度測定のための第1稿データシートを完成しました。理論的なフィルムスタックシート(ベア基板から開始)に取り組み始めました。既知の分散を理論的なPsi/Delトラジェクトリに変換します(AOIの変動に対して)。測定結果を回帰分析できるようにします。

*2013年7月12日更新**

ハードウェアの開発から離れて、いくつかの理論に取り組みました。添付のデータスプレッドシートには、ユーザーが測定結果を手動で回帰(シートに示されたさまざまな誤差測定値を最小限に抑える)してフィルムの光学特性を決定することができる単層Psi/Delモデルも含まれています。データシートには、SiO2がフィルムなしで示されていますが、次に

2014年1月13日更新
長い休憩の後、再び仕事を始めました(ごめんなさい、少し忙しかったのです)。最新の写真からおわかりのように、この装置はいくつかの進化を遂げましたが、それらをまだ記録しておく必要があります。Polarizerの「A」校正を始めました。分析のための最初の実データ収集を開始する前に、Polarizerの「B」校正をまだ行う必要があります。

2014年3月4日更新
私は(清潔ではない)顕微鏡のカバーガラスを使用して最初のテストデータを投稿しました。データ曲線は、+45度の偏光子位置で似たように表示されました(-45度の偏光子位置ではそれほど似ていませんでした)。この最初のデータセットから、重大なエラーの原因が明らかになったようで、再現性をより良くテストする必要があります(手動データ収集は時間がかかります)。デー